[發明專利]曝光裝置、物體的更換方法、曝光方法、以及元件制造方法有效
| 申請號： | 201610497314.6 | 申請日： | 2011-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN106019852B | 公開（公告）日： | 2019-08-02 |
| 發明（設計）人： | 青木保夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默聞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 物體 更換 方法 以及 元件 制造 | ||
【權利要求書】：
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