[發明專利]濺射靶在審
| 申請號: | 201610490653.1 | 申請日: | 2016-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN106278248A | 公開(公告)日: | 2017-01-04 |
| 發明(設計)人: | 木內健一;飯野實;川口行雄 | 申請(專利權)人: | TDK株式會社 |
| 主分類號: | C04B35/468 | 分類號: | C04B35/468;C04B35/47;C04B35/499;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人: | 楊琦,陳明霞 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濺射 | ||
【權利要求書】:
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