[發明專利]一種光電?壓電?靜電驅動的微鏡微調節裝置

有效

• 申請號: 201610489977.3
• 申請日: 2016-06-28
• 公開（公告）號: CN106066536B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 陸飛;王新杰;劉亞風
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 南京理工大學專利中心32203
• 代理人: 馬魯晉

1.一種光電-壓電-靜電驅動的微鏡微調節裝置，包括粗動臺[1]、Y方向位移微調節平臺[8]、X方向位移微調節平臺[17]，其特征在于，還包括Y方向壓電薄膜驅動器一[2]、光電陶瓷[3]、Y方向固支梁放大機構[4]、Y方向柔性鉸鏈[5]、Y方向光電陶瓷[6]、Y方向壓電薄膜驅動器二[7]、X方向壓電薄膜驅動器一[9]、X方向柔性鉸鏈[10]、X方向固支梁放大機構[11]、X方向光電陶瓷一[12]、X方向滾珠導軌[13]、X方向壓電薄膜驅動器二[14]、X方向光電陶瓷二[15]、Y方向滾珠導軌機構[16]；

粗動臺[1]上設置Y方向固支梁放大機構[4]，該Y方向固支梁放大機構的兩端固連在粗動臺[1]上表面，Y方向固支梁放大機構[4]的一側層合Y方向壓電薄膜驅動器一[2]和Y方向壓電薄膜驅動器二[7]，該兩個壓電薄膜驅動器位于Y方向固支梁放大機構[4]的兩端，Y方向固支梁放大機構[4]的另一側固連Y方向柔性鉸鏈[5]，光電陶瓷[3]和Y方向光電陶瓷[6]均位于粗動臺[1]上，其中光電陶瓷[3]和Y方向壓電薄膜驅動器一[2]相串聯，Y方向光電陶瓷[6]和Y方向壓電薄膜驅動器二[7]相串聯，粗動臺[1]上設置Y方向滾珠導軌機構[16]，該滾珠導軌機構包括兩條相互平行的導軌，Y方向位移微調節平臺[8]位于Y方向滾珠導軌機構[16]上并與Y方向柔性鉸鏈[5]的另一端固連，該Y方向位移微調節平臺[8]在Y方向柔性鉸鏈[5]的驅動下沿Y方向滾珠導軌機構[16]平移；

Y方向位移微調節平臺[8]上設置X方向固支梁放大機構[11]，該X方向固支梁放大機構[11]的兩端固連在Y方向位移微調節平臺[8]的上表面，X方向固支梁放大機構[11]的一側層合X方向壓電薄膜驅動器一[9]和X方向壓電薄膜驅動器二[14]，該兩個壓電薄膜驅動器位于X方向固支梁放大機構[11]的兩端，X方向固支梁放大機構[11]的另一側固連X方向柔性鉸鏈[10]，設置在粗動臺[1]上的X方向光電陶瓷一[12]和X方向光電陶瓷二[15]分別與X方向壓電薄膜驅動器一[9]、X方向壓電薄膜驅動器二[14]串聯，Y方向位移微調節平臺[8]上設置兩條相互平行的X方向滾珠導軌[13]，X方向位移微調節平臺[17]位于X方向滾珠導軌[13]上，該X方向位移微調節平臺[17]與X方向柔性鉸鏈[10]的另一端固連，并且在X方向柔性鉸鏈[10]的驅動下沿X方向滾珠導軌[13]平移，X方向位移微調節平臺[17]上裝有兩個微鏡俯仰調節機構。

2.根據權利要求1所述的光電-壓電-靜電驅動的微鏡微調節裝置，其特征在于，X方向位移微調節平臺[17]上的兩個微鏡俯仰調節機構中，一個俯仰調節機構的旋轉軸是沿X方向，另一個俯仰調節機構的旋轉軸是沿Y方向。

3.根據權利要求2所述的光電-壓電-靜電驅動的微鏡微調節裝置，其特征在于，旋轉軸沿Y方向的微鏡俯仰調節機構包括旋轉軸沿Y方向俯仰機構電極一[18]、旋轉軸沿Y方向俯仰機構反射鏡[19]、旋轉軸沿Y方向俯仰機構電極二[21]；旋轉軸沿X方向的微鏡俯仰調節機構包括旋轉軸沿X方向俯仰機構電極一[20]、旋轉軸沿X方向俯仰機構反射鏡[23]、旋轉軸沿X方向俯仰機構電極二[24]；

旋轉軸沿Y方向俯仰機構光電陶瓷[22]、旋轉軸沿X方向俯仰機構光電陶瓷[25]均設置在粗動臺[1]上，旋轉軸沿Y方向俯仰機構光電陶瓷[22]的一端電極與旋轉軸沿Y方向俯仰機構電極二[21]、旋轉軸沿Y方向俯仰機構反射鏡[19]相連，旋轉軸沿Y方向俯仰機構光電陶瓷[22]的另一端與旋轉軸沿Y方向俯仰機構電極一[18]相連；

旋轉軸沿X方向俯仰機構光電陶瓷[25]的一端電極與旋轉軸沿X方向俯仰機構反射鏡[23]、旋轉軸沿X方向俯仰機構電極二[24]相連，旋轉軸沿X方向俯仰機構光電陶瓷[25]的另一端電極與旋轉軸沿X方向俯仰機構電極一[20]相連。