[發明專利]MEMS湍流傳感器的封裝方法有效
| 申請號： | 201610488805.4 | 申請日： | 2016-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN106153243B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發明（設計）人： | 王任鑫;張國軍;白冰;劉夢然;任子明;薛晨陽 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01L19/06 | 分類號： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 湍流 傳感器 封裝 方法 | ||
【說明書】：
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