[發明專利]硅基氮化鎵LED外延結構的制造方法有效
| 申請號： | 201610487972.7 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN105914270B | 公開（公告）日： | 2018-09-18 |
| 發明（設計）人： | 馮猛;陳立人;劉恒山 | 申請（專利權）人： | 聚燦光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L33/12;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 楊林潔 |
| 地址： | 215123 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氮化 led 外延 結構 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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