[發明專利]濕制程設備清潔裝置及濕制程設備在審
| 申請號： | 201610487931.8 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN106081561A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | 陽振軍;汪永佳 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | B65G45/18 | 分類號： | B65G45/18 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕制程 設備 清潔 裝置 | ||
【權利要求書】：
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