[發明專利]一種碳化硅溶液法中實時監測并調整固液界面高度的方法有效
| 申請號： | 201610482560.4 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN106048713B | 公開（公告）日： | 2018-06-26 |
| 發明（設計）人： | 朱燦;呂宇君;李斌 | 申請（專利權）人： | 山東天岳晶體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/00 | 分類號： | C30B11/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 溶液法 碳化硅 籽晶 實時監測 電流計 接觸液 熔融液 耗時 過程無需人工 晶體生長實驗 固液界面 可控生長 熔融液面 石墨坩堝 液面接觸 單晶SiC 高品質 晶體的 有效地 觀察 可控 推算 對流 直觀 指針 滯后 生產 | ||
【說明書】：
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