[發明專利]一種生長高品質碳化硅晶須的方法有效
| 申請號： | 201610482192.3 | 申請日： | 2016-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN106048728B | 公開（公告）日： | 2018-06-26 |
| 發明（設計）人： | 朱燦;李斌;宋生;張亮 | 申請（專利權）人： | 山東天岳晶體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B29/62;C30B9/00 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高品質 碳化硅晶須 碳化硅 晶須 生產成本低 浸入 合成位置 生產過程 生長晶須 生長裝置 石墨坩堝 生長 可調控 溶液法 收集板 可控 合成 生產 | ||
【說明書】：
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