[發明專利]可偵測基板完整性的卡匣結構和偵測基板完整性的方法有效
| 申請號： | 201610480493.2 | 申請日： | 2016-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN106053476B | 公開（公告）日： | 2019-06-28 |
| 發明（設計）人： | 譚朋利 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偵測 完整性 結構 方法 | ||
【說明書】：
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