[發明專利]單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機

有效

• 申請號: 201610479489.4
• 申請日: 2016-06-27
• 公開（公告）號: CN106098524B
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 劉訓春
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司11511
• 代理人: 袁偉東,崔建麗

1.一種單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

包括：

射頻電源、匹配器、自偏壓生成電路、線圈組件、載片電極和反應腔室，

其中，所述線圈組件位于所述反應腔室上方，所述載片電極位于所述反應腔室中且對晶圓進行支撐；

所述射頻電源、所述匹配器及所述線圈組件依次串聯，且所述線圈組件的另一端接地；

所述自偏壓生成電路包括第一電容器、第二電容器、第一扼流圈和第一可調電容器，所述第一電容的一端與所述匹配器的輸出端相連接，另一端與所述第一扼流圈、所述第一可調電容器、所述第二電容器的一端相連接，所述第一扼流圈、第一可調電容器的另一端接地，所述第二電容器另一端與所述載片電極相連接，

其中，所述第一電容器的電容值為10～100pf，耐壓值為3000V，所述第二電容器為可調電容器，所述第二電容器的電容值為0～400pf，所述第一可調電容器的電容值為0～400pf。

2.根據權利要求1所述的單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

還包括自偏壓測量電路，其包括第二扼流圈、第三電容器和電壓表，

其中，所述第二扼流圈的一端與所述載片電極相連接，另一端與所述第三電容器相連接，所述第三電容器的另一端接地，所述電壓表與所述第三電容器并聯連接。

3.根據權利要求1或2所述的單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

所述射頻電源的頻率為13.56MHz，功率為500～2000W。

4.根據權利要求1或2所述的單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

所述匹配器功率為1000～2500W。

5.根據權利要求2所述的單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

第三電容器的電容值為1000pf。

6.根據權利要求2所述的單射頻電源感應耦合等離子體刻蝕機，其特征在于，

線圈組件的電感值為0.2～2μH，第一扼流圈和第二扼流圈的電感值為50μH。