[發明專利]基板檢測設備及基板檢測方法有效
| 申請號： | 201610473344.3 | 申請日： | 2016-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN105973899B | 公開（公告）日： | 2019-07-02 |
| 發明（設計）人： | 郭建龍;鐘立華 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凱 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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