[發(fā)明專利]一種生產(chǎn)太陽能電池用石英舟在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610470928.5 | 申請日: | 2016-06-27 |
| 公開(公告)號: | CN107546160A | 公開(公告)日: | 2018-01-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 曾光俊 | 申請(專利權(quán))人: | 曾光俊 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 成都眾恒智合專利代理事務(wù)所(普通合伙)51239 | 代理人: | 劉華平 |
| 地址: | 610000 四川省成都市*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 生產(chǎn) 太陽能電池 石英 | ||
1.一種生產(chǎn)太陽能電池用石英舟,包括兩邊架,其特征在于:所述兩邊架頂部分別設(shè)置有兩帶舟叉孔的固定片,兩邊架上部之間設(shè)置有兩上橫梁,兩上橫梁上相對兩側(cè)設(shè)置有上擋片卡槽和上硅片卡槽,上擋片卡槽和上硅片卡槽交錯分布,兩邊架下部之間設(shè)置有兩下橫梁,兩下橫梁之間的距離小于兩上橫梁之間的距離,兩下橫梁上相對兩側(cè)設(shè)置有與上擋片卡槽和上硅片卡槽相對應(yīng)的下?lián)跗ú酆拖鹿杵ú郏瑑蛇吋艿撞客鈧?cè)設(shè)置有帶固定孔的連接片,兩邊架底部設(shè)置有不透明石英舟腳。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)太陽能電池用石英舟,其特征在于:所述舟叉孔為錐形孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)太陽能電池用石英舟,其特征在于:所述上擋片卡槽的寬度大于上硅片卡槽的寬度。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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