[發明專利]多通道顯微鏡半導體綜合測試系統在審
| 申請號： | 201610469520.6 | 申請日： | 2016-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN107544012A | 公開（公告）日： | 2018-01-05 |
| 發明（設計）人： | 陸宇;張佩佩;程玉華 | 申請（專利權）人： | 上海北京大學微電子研究院 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;G01R31/303;G01R31/307;G01R31/311 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 通道 顯微鏡 半導體 綜合測試 系統 | ||
【權利要求書】：
1.多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，是將紅外發光顯微技術（1）、激光束誘導電阻率變化測試（2）、微探針檢測（4）、掃描電子顯微鏡（3）結合在一起的一種多通道顯微鏡半導體綜合測試系統。
2.根據權利要求1所述的多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，可單獨進行紅外發光顯微技術（1）測試。
3.根據權利要求1所述的多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，可單獨進行激光束誘導電阻率變化測試（2）。
4.根據權利要求1所述的多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，可單獨進行微探針檢測（4）。
5.根據權利要求1所述的多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，可單獨進行掃描電子顯微鏡（3）測試。
6.根據權利要求1所述的多通道顯微鏡半導體綜合測試系統，其特征在于，可同時進行紅外發光顯微技術（1）、激光束誘導電阻率變化測試（2）、微探針檢測（4）、掃描電子顯微鏡（3）測試。
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