[發明專利]接觸探針型溫度檢測器、半導體裝置的評價裝置以及半導體裝置的評價方法在審
| 申請號： | 201610466367.1 | 申請日： | 2016-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN106291302A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 山下欽也;野口貴也;岡田章;秋山肇;上野和起 | 申請（專利權）人： | 三菱電機株式會社 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;G01K7/22;G01K7/18 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112 | 代理人： | 何立波,張天舒 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 接觸 探針 溫度 檢測器 半導體 裝置 評價 以及 方法 | ||
【權利要求書】：
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