[發明專利]一種珊瑚色磁控濺射低輻射鍍膜玻璃生產工藝有效
| 申請號: | 201610466219.X | 申請日: | 2016-06-24 |
| 公開(公告)號: | CN106116176B | 公開(公告)日: | 2018-06-26 |
| 發明(設計)人: | 臧曉良;李險峰;羅雨瀟;劉宇;張山山;邱宏 | 申請(專利權)人: | 中建材光電裝備(太倉)有限公司 |
| 主分類號: | C03C17/36 | 分類號: | C03C17/36 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 馬明渡;徐丹 |
| 地址: | 215434 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 磁控濺射沉積 靶材 低輻射鍍膜玻璃 磁控濺射 平面陰極 旋轉陰極 直流電源 中頻電源 鋁材質 珊瑚 生產工藝 玻璃基板清洗 磁控濺射工藝 磁控濺射設備 第三層 第一層 三層膜 室內 | ||
【說明書】:
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