[發明專利]球面光學元件表面疵病的檢測裝置及其檢測方法

有效

• 申請號: 201610463460.7
• 申請日: 2016-06-23
• 公開（公告）號: CN107543830B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 武東城;高松濤;蘇東奇;彭石軍;苗二龍;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958;G01N21/95
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 郝明琴

1.一種檢測裝置，所述檢測裝置用于檢測球面光學元件的表面疵病，其特征在于，所述檢測裝置包括：

工作臺；

氣動浮臺，所述氣動浮臺設置于所述工作臺上，且能夠繞自身軸線以一定角速度轉動，所述氣動浮臺用于放置待檢測的光學元件；

三軸移動滑臺，所述三軸移動滑臺設置于所述工作臺上；

顯微物鏡成像設備，所述顯微物鏡成像設備可滑動地設置于所述三軸移動滑臺的末端，所述顯微物鏡成像設備用于拍攝所述氣動浮臺上的光學元件；

顯微物鏡轉臺，所述顯微物鏡轉臺設置于所述顯微物鏡成像設備上，所述顯微物鏡轉臺能夠驅動所述顯微物鏡成像設備轉動以更好的適應所述光學元件的表面檢測；

所述三軸移動滑臺將所述顯微物鏡成像設備移動至所述氣動浮臺的正中心，且在每間隔一預設時間時，驅動所述顯微物鏡成像設備向所述氣動浮臺的邊緣移動一預設距離，直至所述顯微物鏡成像設備位于所述氣動浮臺上的光學元件的邊緣；

所述工作臺包括支撐本體及設置于所述支撐本體上的支撐柱，所述支撐本體與所述支撐柱之間形成一收容空間，所述氣動浮臺設置于所述收容空間內，所述三軸移動滑臺設置于所述支撐柱上；

所述三軸移動滑臺包括第一滑軌，第二滑軌和第三滑軌，所述第一滑軌設置于所述支撐柱上，所述第二滑軌與所述第一滑軌垂直，且可滑動地設置于所述第一滑軌上，所述第三滑軌同時垂直于所述第一滑軌和第二滑軌，且可滑動地設置于所述第二滑軌上，所述顯微物鏡成像設備可滑動地設置于所述第三滑軌靠近所述氣動浮臺的一端；

所述檢測裝置還包括光源，所述光源設置于所述工作臺上，所述光源與所述氣動浮臺相對，所述光源發出的光能夠在所述光學元件內折射和衍射，使得所述光學元件的疵病形成可被所述顯微物鏡成像裝置拍攝到的光斑；

在所述顯微物鏡成像設備向所述氣動浮臺的邊緣移動所述預設距離時，所述三軸移動滑臺驅動所述顯微物鏡成像設備向靠近所述氣動浮臺的方向運動，使得所述顯微物鏡成像設備走出與所述光學元件表面曲線相適應的軌跡。

2.一種應用于權利要求1所述的檢測裝置上的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括步驟：

將待測光學元件放置在所述氣動浮臺上；

調節所述三軸移動滑臺使得所述顯微物鏡成像設備位于所述氣動浮臺的正中心；

調節所述顯微物鏡成像設備使所述氣動浮臺上的光學元件位于所述顯微物鏡成像設備的鏡頭工作距內，保證所述顯微物鏡成像設備可以清楚成像；及

所述三軸移動滑臺在每間隔一預設時間時，驅動所述顯微物鏡成像設備向所述氣動浮臺的邊緣移動一預設距離，直至所述顯微物鏡成像設備位于所述氣動浮臺的光學元件邊緣。

3.如權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，步驟“調節所述三軸移動滑臺使得所述顯微物鏡成像設備位于所述氣動浮臺的正中心”具體為：

沿著所述第一滑軌移動所述第二滑軌使所述第二滑軌位于所述氣動浮臺的中心線上，沿著所述第二滑軌移動所述第三滑軌使所述第三滑軌位于所述氣動浮臺的中心線上。

4.如權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法還包括步驟：

所述光源從側面照射所述氣動浮臺及其上的光學元件，所述光源發出的光能夠在所述光學元件內折射和衍射，使得所述光學元件的疵病形成可被所述顯微物鏡成像裝置拍攝到的光斑。

5.如權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括步驟：

在所述顯微物鏡成像設備向所述氣動浮臺的邊緣移動所述預設距離時，所述三軸移動滑臺驅動所述顯微物鏡成像設備向靠近所述氣動浮臺的方向運動，使得所述顯微物鏡成像設備走出與所述光學元件表面曲線相適應的軌跡。