[發明專利]一種氣囊浮動密封門

有效

• 申請號: 201610462719.6
• 申請日: 2016-06-23
• 公開（公告）號: CN107542371B
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 付潤銘;李學威;趙治國;邊弘曄;鄧德智;陳睿;劉光宇
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: E06B3/50
• 分類號: E06B3/50;E05F15/50;E05F1/08
• 代理公司: 21002 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 許宗富<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發明涉及晶圓制造技術領域，具體公開一種氣囊浮動密封門。本發明的一種氣囊浮動密封門，包括固定門、浮動門、氣囊和連接部，固定門與浮動門平行放置，固定門下端與固定物體連接，使固定門固定；浮動門通過連接部與固定門連接；固定門與浮動門之間放置有氣囊，氣囊可以充氣和放氣，氣囊充氣推動浮動門關閉，氣囊放氣引導浮動門打開。本發明通過氣囊、連接部與浮動門的配合，實現密封門的快速打開和關閉，結構簡單、操作方便。

技術領域

本發明涉及晶圓制造技術領域，具體公開一種氣囊浮動密封門。

背景技術

晶圓是制造半導體芯片的基本材料，為避免微量離子和金屬雜質對晶圓的污染，在晶圓存儲過程中需放置在一個真空室中，這種真空室有一扇可以密封的門，當門打開時用于取出晶圓，當門關閉時用于暫存晶圓。為了提高晶圓的取出效率，此門需要在較短的時間內完成真空室的密封或解除密封。

為解決這一問題，設計一種氣囊浮動密封門，在對晶圓進行提取和存儲時，能快速完成密封門的打開和關閉。

發明內容

本發明旨在克服現有密封門打開關閉不夠快速的缺陷，提高提取效率，提供一種氣囊浮動密封門。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

本發明提供一種氣囊浮動密封門，包括固定門、浮動門、氣囊和連接部，固定門與浮動門平行放置，固定門下端與固定物體連接，使固定門固定；浮動門通過連接部與固定門連接；固定門與浮動門之間放置有氣囊，氣囊可以充氣和放氣，氣囊充氣推動浮動門關閉，氣囊放氣引導浮動門打開。

進一步地，連接部包括第一連接部和第二連接部，第一連接部一端與固定門固定連接，一端與浮動門滑動連接；第二連接部兩端分別與固定門和浮動門固定連接。

進一步地，第一連接部包括螺栓和復位彈簧，螺栓包括螺桿和螺帽，復位彈簧套設在螺桿上，靠近螺帽一端，復位彈簧的直徑小于螺帽的直徑。

進一步地，浮動門設置有卡槽，卡槽底端有通孔，通孔大小正好容許螺桿穿過，螺桿穿過通孔與固定門固定連接，復位彈簧卡設在螺帽與卡槽形成的空間。

進一步地，復位彈簧在氣囊充氣時呈被壓縮狀態。

進一步地，第二連接部為彈簧片，彈簧片設置在固定門與浮動門之間，彈簧片通過螺栓分別與固定門和浮動門連接。

進一步地，彈簧片可彎曲，氣囊充氣時彈簧片呈彎曲狀態。

進一步地，浮動門設置有開口朝向固定門的槽，槽用于放置氣囊。

進一步地，氣囊在充氣時，浮動門沿第一連接部向遠離固定門的方向移動，氣囊在放氣時，浮動門沿第一連接部向靠近固定門的方向移動。

進一步地，第一連接部、第二連接部和氣囊均為2個，且每對呈上下對稱設置，從上到下依次為第一連接部、氣囊、第二連接部。

進一步地，浮動門設有密封圈或密封面，密封圈或密封面設置在背離固定門的一面上。

本發明的有益效果在于：通過氣囊、連接部與浮動門和固定門的配合，實現密封門的快速打開和關閉，結構簡單、操作方便。

附圖說明

圖1為根據本發明一個實施例的原理圖。。

圖2為根據本發明一個實施例的隱藏浮動門主視圖。

圖3為根據本發明一個實施例的主視圖。

圖4為根據本發明一個實施例的A-A面剖視圖及Ⅰ和Ⅱ處放大視圖。

圖5為根據本發明一個實施例的密封門關閉狀態示意圖。

圖6為根據本發明一個實施例的密封門打開狀態示意圖。