[發明專利]一種液相生長碳化硅籽晶軸裝置有效
| 申請號： | 201610462617.4 | 申請日： | 2016-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN105970294B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 朱燦;王曉;宋建;張亮 | 申請（專利權）人： | 山東天岳晶體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B15/32 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 相生 碳化硅 籽晶 裝置 | ||
【權利要求書】：
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