[發明專利]一種單晶硅生長爐的加料器

在審

• 申請號: 201610461028.4
• 申請日: 2016-06-23
• 公開（公告）號: CN107541770A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 周小勇
• 申請（專利權）人: 揚州合晶科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司11212
• 代理人: 趙秀斌

1.一種單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，包括加料管和長桿，所述加料管的下端設有投料口并置于所述生長爐中，所述加料管內部軸線位置處具有供所述長桿上下運動的通管，所述加料管在所述投料口的上方具有向內收縮的頸部，所述長桿的下端具有一錐體狀的閉口部，所述閉口部置于所述頸部與所述投料口之間并可隨所述長桿的上下運動與所述頸部卡接或分離。

2.根據權利要求1所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述通管通過多個支撐桿支撐固定在所述加料管的內壁處。

3.根據權利要求2所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述支撐桿的數量為三個，所述三個支撐桿在同一水平面且均勻分布在所述通管的外圍。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述加料管的上端向外延伸設有卡接部，所述長桿的靠近上端處設有與所述長桿的軸線相互垂直的橫桿。

5.根據權利要求4所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述橫桿的長度大于所述加料管的外徑。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述閉口部的最大直徑大于所述頸部的最小直徑。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述閉口部所在的水平面在所述投料口所在的水平面的上方。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述長桿的上端連接有圓盤，所述圓盤通過機械運動以帶動所述長桿進行上下運動。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的單晶硅生長爐的加料器，其特征在于，所述加料管和所述閉口部采用石英材料，所述長桿采用鉬鋼材料。