[發(fā)明專利]微小空間內表面放電清洗方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610459829.7
• 申請日: 2016-06-22
• 公開（公告）號: CN105903724B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發(fā)明（設計）人: 陸鏑萊;陸治國
• 申請（專利權）人: 西北大學
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司61200
• 代理人: 徐文權

1.微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：包括強場空間容器和真空系統(tǒng)(3)，真空系統(tǒng)(3)包括用于抽真空的抽氣裝置和用于充入清洗氣體的充氣裝置；抽氣裝置和充氣裝置均連接待清洗工件(2)內部的微小空間(7)，待清洗工件(2)有若干個；待清洗工件(2)置于強場空間容器內；強場空間容器連接用于在其內部空腔內產生電磁場(6)的輻射源。

2.根據權利要求1所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：輻射源包括電源(5)以及與電源(5)相連的若干個振蕩源；每個振蕩源均分別通過隔離器同強場空間容器相連。

3.根據權利要求2所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：振蕩源采用輸出功率在100W以上且輸出頻率在0.9～5.9GHz的振蕩器(1)；振蕩器(1)均勻分布在強場空間容器外側且為微波電子管或半導體器件。

4.根據權利要求1所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：真空系統(tǒng)(3)中設置有真空計。

5.根據權利要求1所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：清洗氣體為待清洗工件(2)的工作氣體。

6.根據權利要求1所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：強場空間容器包括屏蔽外殼(9)，屏蔽外殼(9)上設置帶屏蔽網的觀察窗(10)。

7.根據權利要求1所述的微小空間內表面放電清洗裝置，其特征在于：待清洗工件(2)的材料為玻璃或陶瓷；微小空間(7)為內徑在1～20毫米的毛細管或圓泡。

8.微小空間內表面放電清洗方法，其特征在于：包括以下步驟：

a)首先將待清洗工件(2)內部的微小空間(7)與真空系統(tǒng)(3)相連，并將待清洗工件(2)放入強場空間容器內；將強場空間容器與用于在其內部空腔內產生電磁場(6)的輻射源相連；

b)通過真空系統(tǒng)(3)將微小空間(7)內抽真空，然后通過真空系統(tǒng)(3)向微小空間(7)內充入清洗氣體；

c)啟動輻射源產生電磁場(6)，使清洗氣體放電清洗微小空間(7)內表面，最后通過真空系統(tǒng)(3)放氣，完成清洗。

9.根據權利要求8所述的微小空間內表面放電清洗方法，其特征在于：步驟b)中抽真空后氣壓不高于1Pa；充入清洗氣體直至氣壓為20～20000Pa。

10.根據權利要求8所述的微小空間內表面放電清洗方法，其特征在于：步驟c)中清洗氣體放電后如果變色，則重復步驟b)直至清洗氣體放電不再變色，通過真空系統(tǒng)(3)放氣，完成清洗。