[發(fā)明專利]一種晶片型壓電振子驅動的隔膜泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610459202.1
• 申請日: 2016-06-15
• 公開（公告）號: CN106014940B
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發(fā)明（設計）人: 陳松;費翔;闞君武;尹曉紅;王淑云
• 申請（專利權）人: 浙江師范大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶片型壓電振子驅動的隔膜泵，其特征在于：泵體上設有左右壁板，左壁板上設有相互連通的導向孔和腔體，腔體側壁端部經(jīng)螺釘安裝有隔膜和泵蓋，泵蓋上設有進出口閥，隔膜和泵蓋構成泵腔；施力件圓盤和擋板經(jīng)螺母和施力件導桿上的螺紋壓接在隔膜兩側；隔膜為0.2mm和0.1mm厚時，施力件圓盤直徑分別為D1＝(0.55～0.75)D2和D1＝(0.7～0.9)D2，式中D2為泵腔直徑；導桿經(jīng)導向孔伸出，導桿的伸出端端部經(jīng)螺母固定有連接塊，連接塊上經(jīng)壓塊和螺釘安裝有兩組壓電振子，壓電振子兩端經(jīng)壓塊和螺釘分別固定在左右壁板上，壓電振子由金屬基板和壓電晶片粘接而成；壓電振子安裝前為平直結構、且其長度大于左右壁板間的距離，壓電振子安裝后變成彎曲結構、且壓電晶片曲率半徑小于金屬基板曲率半徑，壓電晶片承受壓應力、金屬基板承受拉應力；壓電振子上處于連接塊左側的部分構成驅動單元I、右側部分構成驅動單元II，驅動單元I和II的驅動電壓相位差為180度；壓電振子在一個驅動單元中伸長量達最大時在另一個驅動單元中縮短量達到最大，縮短量和伸長量相互制約。