[發(fā)明專利]靶材組件的焊接方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610458855.8 | 申請日： | 2016-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN107520533A | 公開（公告）日： | 2017-12-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學(xué)澤;李響 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K20/12 | 分類號： | B23K20/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227 | 代理人： | 徐文欣,吳敏 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 組件 焊接 方法 | ||
1.一種靶材組件的焊接方法，其特征在于，包括：
提供靶材和背板，所述靶材具有第一焊面，所述背板具有第二焊面；
采用摩擦焊接工藝焊接第一焊面和第二焊面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材還具有與第一焊面相對的濺射面；所述背板還具有與第二焊面相對的背面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述摩擦焊接工藝的過程包括：
采用第一旋轉(zhuǎn)夾具固定所述背板，所述第一旋轉(zhuǎn)夾具用于使背板圍繞背板的軸線旋轉(zhuǎn)；
采用移動夾具固定所述靶材，第一焊面朝向第二焊面設(shè)置，所述靶材的軸線和所述背板的軸線重合；
啟動移動夾具向第一旋轉(zhuǎn)夾具移動；
所述第一焊面接觸第二焊面后，第一焊面相對第二焊面進行摩擦而生熱；
摩擦結(jié)束后，移動夾具朝向第一旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述摩擦焊接工藝的過程包括：
采用第二旋轉(zhuǎn)夾具固定所述靶材，所述第二旋轉(zhuǎn)夾具用于使靶材圍繞靶材的軸線旋轉(zhuǎn)；
采用移動夾具固定所述背板，第一焊面朝向第二焊面設(shè)置，所述背板的軸線和所述靶材的軸線重合；
啟動移動夾具向第二旋轉(zhuǎn)夾具移動；
所述第一焊面接觸第二焊面后，第一焊面相對第二焊面進行摩擦而生熱；
摩擦結(jié)束后，移動夾具朝向第二旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，還包括：第一焊面接觸第二焊面后，啟動第一旋轉(zhuǎn)夾具旋轉(zhuǎn)，使第一焊面相對第二焊面進行摩擦；或者在第一焊面接觸第二焊面前，啟動第一旋轉(zhuǎn)夾具旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，還包括：第一焊面接觸第二焊面后，啟動第二旋轉(zhuǎn)夾具旋轉(zhuǎn)，使第一焊面相對第二焊面進行摩擦；或者在第一焊面接觸第二焊面前，啟動第二旋轉(zhuǎn)夾具旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在第一焊面相對第二焊面進行摩擦的過程中，所述第一焊面和第二焊面相接觸的面積小于等于1600平方厘米；所述第一旋轉(zhuǎn)夾具的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分鐘～8000轉(zhuǎn)/分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料為鋁；所述背板的材料為鋁合金。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在所述移動夾具朝向第一旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛的過程中，施加的壓強為10兆帕～100兆帕，保壓時間為0秒～10秒。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料為鈦或銅，所述背板的材料為鋁合金或者銅合金。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在所述移動夾具朝向第一旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛的過程中，施加的壓強為20兆帕～150兆帕，保壓時間為0秒～20秒。
12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在第一焊面相對第二焊面進行摩擦的過程中，所述第一焊面和第二焊面相接觸的面積小于等于1600平方厘米；所述第二旋轉(zhuǎn)夾具的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分鐘～8000轉(zhuǎn)/分鐘。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料為鋁；所述背板的材料為鋁合金。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在所述移動夾具朝向第二旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛的過程中，施加的壓強為10兆帕～100兆帕，保壓時間為0秒～10秒。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材 料為鈦或銅，所述背板的材料為鋁合金或者銅合金。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的靶材組件的焊接方法，其特征在于，在所述移動夾具朝向第二旋轉(zhuǎn)夾具進給頂鍛的過程中，施加的壓強為20兆帕～150兆帕，保壓時間為0秒～20秒。
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