[發明專利]測試裝置及測試方法

有效

• 申請號: 201610458850.5
• 申請日: 2016-06-22
• 公開（公告）號: CN107526014B
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 許睿謀;張添登;陳鵬飛;胡哲郕
• 申請（專利權）人: 致茂電子（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;李巖

1.一種測試裝置，適于對一待測物進行測試，其特征在于，該測試裝置包含：

一載臺，適于承載該待測物；

一測試模塊，包含至少一第一探針以及至少一第二探針，該第一探針與該第二探針可移動地位于該載臺上方，該第一探針可沿一水平方向軸向移動地位于該載臺的一側，該第二探針可沿該水平方向軸向移動地位于該載臺的相對一側，且該第一探針與該第二探針可沿一垂直方向相對載臺擺動而相對靠近或遠離載臺；以及

一驅動模塊，連接于該測試模塊，該驅動模塊用以帶動該第一探針和該第二探針相對該載臺移動與擺動而測試該待測物；

其中，于一第一時間，該第一探針測試該待測物的該第一待測位置，并且該驅動模塊帶動該第二探針移至該待測物的一第二待測位置；

其中，于晚于該第一時間的一第二時間，該第二探針測試該待測物的該第二待測位置，并且該驅動模塊帶動該第一探針自該第一待測位置移至該待測物的一第三待測位置。

2.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，于該第一時間內，該第二探針與該待測物相分離；于該第二時間內，該第一探針與該待測物相分離。

3.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，該載臺連接于該驅動模塊，且令該驅動模塊可帶動該載臺相對該測試模塊移動。

4.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，于一第三時間內，該第一探針和該第二探針皆與該待測物相分離，且該驅動模塊帶動該載臺相對該測試模塊移動，而令該第一探針和該第二探針分別位于該待測物的一第四待測位置和一第五待測位置。

5.如權利要求3所述的測試裝置，其特征在于，更包含設置于該載臺上方的一光學檢測模塊，其中于該第一時間內，該第一待測位置位于該光學檢測模塊的一檢測范圍內，該驅動模塊沿該第二探針的移動方向的反方向移動該載臺和該第一探針。

6.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，該第一待測位置至該第三待測位置的移動距離為該第三待測位置至該第二待測位置的移動距離的兩倍。

7.如權利要求1所述的測試裝置，其特征在于，該第一探針和該第二探針分別設置于該載臺的相對二側。

8.一種測試一待測物的測試方法，其特征在于，包含：

于一第一時間內，令一第一探針接觸測試一載臺承載的該待測物的一第一待測位置，并且移動一第二探針至該待測物的一第二待測位置；以及

于晚于該第一時間的一第二時間內，令該第二探針接觸測試該第二待測位置，并且移動該第一探針自該第一待測位置至該待測物的一第三待測位置；

其中該第一探針可沿一水平方向軸向移動地位于該載臺的一側，該第二探針可沿該水平方向軸向移動地位于該載臺的相對一側，且該第一探針與該第二探針可沿一垂直方向相對載臺擺動而相對靠近或遠離載臺。

9.如權利要求8所述的測試方法，其特征在于，

于該第一時間內，令該第二探針與該待測物相分離后，移動該第二探針至該第二待測位置；以及

于該第二時間內，令該第一探針與該待測物相分離后，移動該第一探針至該第三待測位置。

10.如權利要求8所述的測試方法，其特征在于，更包含：

于該第一時間內，沿該第二探針的移動方向的反方向移動該載臺和該第一探針；以及

于該第二時間內，沿該第一探針的移動方向的反方向移動該載臺和該第二探針。