[發明專利]擺動機構

有效

• 申請號: 201610457480.3
• 申請日: 2016-06-22
• 公開（公告）號: CN107524771B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 許睿謀;張添登
• 申請（專利權）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: F16H21/40
• 分類號: F16H21/40;G01R1/067
• 代理公司: 11006 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁揮;李巖<國際申請>=<國際公布>=<

一種擺動機構包含基座、偏心軸、軸承、連接桿件及擺動件。偏心軸包含相連的一本體部以及一連接部。本體部樞設于基座，且連接部的軸心線和本體部的軸心線非共軸。軸承套設于偏心軸的連接部。連接桿件包含一第一樞接部及一推抵桿部。第一樞接部樞設于軸承。推抵桿部連接于第一樞接部，并沿第一樞接部的徑向延伸。擺動件包含相連的一第二樞接部及一第一延伸臂部。第二樞接部樞設于基座。第一延伸臂部可活動地抵靠于推抵桿部。當偏心軸旋轉時，連接桿件的推抵桿部可沿軸承的軸向與徑向活動，并帶動擺動件的第一延伸臂部相對基座擺動。

技術領域

本發明關于一種擺動機構，特別是一種具偏心軸的擺動機構。

背景技術

為了減少污染及提高產量，半導體產業常利用一個或多個機械手臂搬運硅晶圓或電子芯片等工作件，以便進行后續的工藝步驟或是電性測試。

一般而言，機械手臂是通過馬達傳動直線導軌而可調整垂直方向上的位置。習知機械手臂會搭載外部構件來連接于馬達，且馬達驅動機械手臂移動時，外部構件會隨著機械手臂一并移動。也就是說，整體的移動組件的重量為機械手臂的重量加上外部構件的重量。移動組件的整體重量增加會導致機械手臂的慣性動作變明顯。慣性動作例如為起動或停止所產生的晃動，而晃動變大時，則會增加承載于機械手臂的工作件掉落的風險。

此外，上述因慣性動作變明顯而造成晃動變大的問題同樣發生在電性測試工藝中。電性測試工藝一般是通過擺臂連接探針，擺臂帶動探針相對工作件擺動而進行電性測試等作業。但若擺臂的晃動程度變大或次數變多，則易導致探針刮傷工作件的狀況發生。因此，如何抑制上述機構件產生非預期的晃動或降低晃動程度，則為研發人員應解決的問題之一。

發明內容

本發明在于提供一種擺動機構，藉以抑制上述臂體非預期的晃動或降低晃動程度。

本發明之一實施例所公開的擺動機構包含一基座、一偏心軸、一軸承、一連接桿件及一擺動件。偏心軸包含相連的一本體部以及一連接部。本體部樞設于基座，且連接部的軸心線和本體部的軸心線非共軸。軸承套設于偏心軸的連接部。連接桿件包含一第一樞接部及一推抵桿部。第一樞接部樞設于軸承。推抵桿部連接于第一樞接部，并沿第一樞接部的徑向延伸。擺動件包含相連的一第二樞接部及一第一延伸臂部。第二樞接部樞設于基座。第一延伸臂部可活動地抵靠于推抵桿部。當偏心軸旋轉時，連接桿件的推抵桿部可沿軸承的軸向與徑向活動，并帶動擺動件的第一延伸臂部相對基座擺動。

根據上述實施例的擺動機構，因偏心軸與連接桿件的連接部通過軸承來樞設，故可通過軸承的內環與外環會輕微地相對擺動的特性來讓連接桿件的推抵桿部在擺動件的擺動過程中能持續抵靠于擺動件的第一延伸臂部。如此一來，擺動件能因受到推抵桿部的抵靠而減緩自身的晃動程度。

以上關于本發明內容的說明及以下實施方式的說明系用以示范與解釋本發明的原理，并且提供本發明的專利申請范圍更進一步的解釋。

附圖說明

圖1為根據本發明第一實施例所述的擺動機構與驅動馬達的組合的立體示意圖。

圖2為圖1的上視示意圖。

圖3為圖2的剖面示意圖。

圖4為圖2的偏心軸旋轉一角度后的上視示意圖。

圖5為圖4的剖面示意圖。

圖6為根據本發明第二實施例所述的擺動機構與驅動馬達的組合的立體示意圖。

圖7為根據本發明第三實施例所述的擺動機構的局部放大示意圖。

圖8為根據本發明第四實施例所述的基座與擺動件的平面示意圖。

其中附圖標記為：

10、10a 擺動機構

20 驅動馬達