[發明專利]具有擺動式噴頭的二極管清洗裝置及清洗方法有效
| 申請號： | 201610455928.8 | 申請日： | 2016-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN105921445B | 公開（公告）日： | 2018-05-25 |
| 發明（設計）人： | 石治洪;陳林;朱燦;歐博;文海 | 申請（專利權）人： | 貴州雅光電子科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 貴陽中新專利商標事務所 52100 | 代理人： | 商小川 |
| 地址： | 550025 貴州省貴*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二極管 噴頭 清洗槽 升降板 清洗 移動部 驅動 擺動機構 清洗系統 清洗裝置 驅動裝置 擺動式 供水管 氣動升降機構 固定設置 橫向設置 噴頭設置 清洗效率 人工清洗 人力成本 轉動機構 往復式 轉動 升降 占用 | ||
【權利要求書】：
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