[發明專利]SiC晶體的制造方法有效
| 申請號： | 201610455007.1 | 申請日： | 2016-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN106256931B | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 關章憲;石川由加里 | 申請（專利權）人： | 豐田自動車株式會社;一般財團法人日本精細陶瓷中心 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B25/00;C30B25/20;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | sic 晶體 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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