[發明專利]鍍敷設備、鍍敷方法和轉換用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿勢的方法

有效

• 申請號: 201610453013.3
• 申請日: 2012-03-15
• 公開（公告）號: CN106119919B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發明（設計）人: 南吉夫
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;H01L21/677
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 梅高強,張麗穎

1.一種鍍敷設備，其特征在于，包括：

臺，基板保持器水平地放置在所述臺上，所述基板保持器能夠可拆卸地保持基板；

鍍敷部，所述鍍敷部中保持鍍敷溶液，所述鍍敷部用于通過將所述基板在豎直面中浸沒在所述鍍敷溶液中而對由所述基板保持器保持的所述基板進行鍍敷；和

基板保持器運送器，所述基板保持器運送器用于在所述臺和所述鍍敷部之間運送所述基板保持器，所述基板保持器運送器包括用于保持所述基板保持器的保持部分；

其中，所述臺具有水平移動機構，當所述水平移動機構支撐所述基板保持器的下端時，所述水平移動機構能夠水平地移動；并且

其中，所述基板保持器運送器包括上升下降機構，當所述基板保持器的下端被所述水平移動機構支撐時，隨著所述水平移動機構水平移動，通過豎直移動所述保持部分，所述上升下降機構用于將所述基板保持器的姿勢從豎直狀態轉換為水平狀態，或者從水平狀態轉換為豎直狀態。

2.如權利要求1所述的鍍敷設備，其特征在于，進一步包括：

基板保持器檢測器，所述基板保持器檢測器用于檢測所述基板保持器運送器是否保持所述基板保持器。

3.如權利要求2所述的鍍敷設備，其特征在于，進一步包括：

上升下降機構控制器，如果所述基板保持器檢測器檢測到所述保持部分未保持所述基板保持器，所述上升下降機構控制器停止所述上升下降機構的操作。

4.如權利要求1所述的鍍敷設備，其特征在于，所述基板保持器包括圓形手柄，并且所述保持部分保持所述圓形手柄。

5.如權利要求4所述的鍍敷設備，其特征在于，所述保持部分具有可旋轉地支撐所述圓形手柄的形狀。

6.如權利要求1所述的鍍敷設備，其特征在于，當從與所述水平移動機構的移動方向和所述保持部分的豎直移動方向都垂直的方向觀察時，所述基板保持器的下端具有半圓形的橫截面形狀。

7.如權利要求1所述的鍍敷設備，其特征在于，通過所述水平移動機構懸掛的重物，所述水平移動機構在降低所述保持部分的方向上被偏置。

8.如權利要求1所述的鍍敷設備，其特征在于，所述基板保持器運送器包括用于在所述基板保持器被運送時防止所述基板保持器搖晃的夾持器。

9.一種轉換用于可拆卸地保持基板的基板保持器的姿勢的方法，其特征在于，所述方法包括：

利用基板保持器運送器的保持部分保持所述基板保持器的一個端部；

通過所述基板保持器運送器使所述基板保持器移動至臺上方的位置；

降低所述保持部分以使得所述基板保持器的另一個端部與所述臺的水平移動機構接觸；和

為了將所述基板保持器的所述姿勢從豎直狀態轉換為水平狀態，進一步降低所述保持部分以水平地移動所述水平移動機構。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，進一步包括：

在所述基板的另一端與所述水平移動機構接觸之后，并且在所述保持部分被進一步降低以水平地移動所述水平移動機構之前，移動所述基板保持器運送器的所述保持部分，以使得所述基板保持器傾斜預定角度而不移動所述水平移動機構。

11.一種鍍敷方法，其特征在于，所述鍍敷方法包括：

通過基板保持器運送器將基板保持器放置在臺上，所述基板保持器運送器能夠保持所述基板保持器；

利用放置在所述臺上的所述基板保持器安裝并保持基板；

利用所述基板保持器運送器的保持部分保持所述基板保持器的一個端部；

當水平移動機構支撐所述基板保持器的另一個端部時，抬升所述保持部分并且水平地移動位于所述臺上的所述水平移動機構，以將所述基板保持器的姿勢從水平狀態轉換為豎直狀態；

通過所述基板保持器運送器將所述基板保持器移動到保持鍍敷溶液的鍍敷部的上方的位置；和

通過所述基板保持器運送器降低所述基板保持器，以將所述基板浸沒在所述鍍敷溶液中。