[發(fā)明專利]電子設(shè)備及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610452847.2
• 申請日: 2016-06-21
• 公開（公告）號: CN106611813B
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧承模;金亮坤;鄭求烈;李寶美
• 申請（專利權(quán)）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號: H01L43/02
• 分類號: H01L43/02;H01L43/12
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 王建國;許偉群

1.一種包括半導(dǎo)體存儲器的電子設(shè)備，

其中，半導(dǎo)體存儲器包括磁性隧道結(jié)MTJ結(jié)構(gòu)，MTJ結(jié)構(gòu)包括：自由層，具有可改變的磁化方向；釘扎層，具有釘扎的磁化方向；以及隧道阻擋層，夾在自由層與釘扎層之間，

其中，自由層包括CoFeAlB合金，

其中，Al在CoFeAlB合金中的含量小于10％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，其中，Al在CoFeAlB合金中的含量為5％或者更大。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，其中，半導(dǎo)體存儲器還包括底層，底層設(shè)置在MTJ結(jié)構(gòu)之下，并且用于增加位于底層之上的層的垂直磁性晶體各向異性。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子設(shè)備，其中，底層包括AlN。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，其中，半導(dǎo)體存儲器還包括磁校正層，磁校正層減少由釘扎層產(chǎn)生的雜散磁場的影響。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子設(shè)備，其中，磁校正層設(shè)置在MTJ結(jié)構(gòu)之上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子設(shè)備，其中，半導(dǎo)體存儲器還包括間隔件層，間隔件層夾在MTJ結(jié)構(gòu)與磁校正層之間，并且包括貴金屬。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，其中，半導(dǎo)體存儲器還包括一個或多個層，一個或多個層設(shè)置在MTJ結(jié)構(gòu)之上或之下，并且具有與MTJ結(jié)構(gòu)的側(cè)壁對齊的側(cè)壁。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電子設(shè)備，其中，底層的側(cè)壁不與MTJ結(jié)構(gòu)的側(cè)壁對齊。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子設(shè)備，其中，底層的上表面的寬度比MTJ結(jié)構(gòu)的下表面的寬度大。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，還包括微處理器，微處理器包括：

控制單元，被配置成從微處理器的外部接收包括命令的信號，并且執(zhí)行命令的提取、解碼、或者控制微處理器的信號的輸入或輸出；

操作單元，被配置成基于控制單元對命令解碼的結(jié)果來執(zhí)行運(yùn)算；以及

存儲單元，被配置成存儲用于執(zhí)行運(yùn)算的數(shù)據(jù)、與執(zhí)行運(yùn)算的結(jié)果相對應(yīng)的數(shù)據(jù)、或者用于執(zhí)行運(yùn)算的數(shù)據(jù)的地址，

其中，半導(dǎo)體存儲器是微處理器中的存儲單元的部件。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，還包括處理器，處理器包括：

核心單元，被配置成基于從處理器的外部輸入的命令，通過使用數(shù)據(jù)來執(zhí)行與命令相對應(yīng)的操作；

高速緩沖存儲單元，被配置成存儲用于執(zhí)行運(yùn)算的數(shù)據(jù)、與執(zhí)行運(yùn)算的結(jié)果相對應(yīng)的數(shù)據(jù)、或者用于執(zhí)行運(yùn)算的數(shù)據(jù)的地址；以及

總線接口，連接在核心單元與高速緩沖存儲單元之間，并且被配置成在核心單元與高速緩沖存儲單元之間傳送數(shù)據(jù)，

其中，半導(dǎo)體存儲器是處理器中的高速緩沖存儲單元的部件。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子設(shè)備，還包括處理系統(tǒng)，處理系統(tǒng)包括：

處理器，被配置成將通過處理器接收的命令解碼，并且基于對命令解碼的結(jié)果而控制對于信息的操作；

輔助存儲器件，被配置成存儲用于將命令和信息解碼的程序；

主存儲器件，被配置成調(diào)用和存儲來自輔助存儲器件的程序和信息，使得處理器在執(zhí)行程序時能夠使用程序和信息而執(zhí)行操作；以及

接口器件，被配置成在處理器、輔助存儲器件和主存儲器件中的至少一個與外部之間執(zhí)行通信，

其中，半導(dǎo)體存儲器是處理系統(tǒng)中輔助存儲器件或者主存儲器件的部件。