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[發(fā)明專利]一種自對準薄膜晶體管及其制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201610451662.X 申請日: 2016-06-21
公開(公告)號: CN105977306A 公開(公告)日: 2016-09-28
發(fā)明(設(shè)計)人: 張盛東;邵陽;肖祥;周曉梁 申請(專利權(quán))人: 北京大學(xué)深圳研究生院
主分類號: H01L29/786 分類號: H01L29/786;H01L21/34
代理公司: 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281 代理人: 郭燕;彭家恩
地址: 518055 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 對準 薄膜晶體管 及其 制備 方法
【說明書】:
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