[發明專利]一種含有多孔結構的CMP拋光墊修整器有效
| 申請號： | 201610451507.8 | 申請日： | 2016-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN106041741B | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發明（設計）人： | 康仁科;董志剛;段佳冬;周平;朱祥龍 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | B24B53/12 | 分類號： | B24B53/12;B24B53/017 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 趙淑梅;李洪福 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 含有 多孔 結構 cmp 拋光 修整 | ||
【權利要求書】：
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