[發明專利]位置檢知裝置

有效

• 申請號: 201610450356.4
• 申請日: 2016-06-20
• 公開（公告）號: CN105865495B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發明（設計）人: 陳鈺明
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種位置檢知裝置，其特征在于，包括：基座(1)、位于基座(1)上的安裝部(3)、能轉動安裝于安裝部(3)上的杠桿(2)、安裝于杠桿(2)一端的磁頭(4)、一端能轉動連接于杠桿(2)靠近磁頭(4)一端的聯動桿(5)、能轉動連接于聯動桿(5)另一端的磁屏蔽板(7)、及安裝于基座(1)上的信號線感應端(6)；在沒有外力施加于杠桿(2)時，杠桿(2)一端因重力朝下，磁頭(4)與信號線感應端(6)產生磁感應；當杠桿(2)另一端受外力作用，杠桿(2)一端轉動，磁頭(4)朝遠離信號線感應端(6)方向運動，所述聯動桿(5)帶動磁屏蔽板(7)蓋于信號線感應端(6)上，所述磁頭(4)與信號線感應端(6)未產生感應，通過磁頭(4)與信號線感應端(6)的感應與否來實現兩個不同位置狀態指示。

2.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述基座(1)設有收容槽(12)，所述信號線感應端(6)容納于收容槽(12)內，當杠桿(2)另一端受外力作用，杠桿(2)一端轉動，所述聯動桿(5)帶動磁屏蔽板(7)蓋于基座(1)對應信號線感應端(6)的收容槽(12)上。

3.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述杠桿(2)另一端設有滾輪(8)，以在杠桿(2)另一端受外力作用時外力施加于滾輪(8)上。

4.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述磁頭(4)的數量為兩個，分別定義為縱向磁頭(42)與橫向磁頭(44)。

5.如權利要求4所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述縱向磁頭(42)設于所述杠桿(2)一端的一側面上；所述橫向磁頭(44)鄰近縱向磁頭(42)設置，以在沒有外力施加于杠桿(2)，杠桿(2)一端因重力朝下時，增強磁頭(4)與信號線感應端(6)產生磁感應。

6.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述磁屏蔽板(7)包括一屏蔽板部(72)、連接于屏蔽板部(72)的連接部(74)、及設于連接部(74)上的轉軸(76)，所述聯動桿(5)另一端設有一軸孔(52)，其能轉動容納該轉軸(76)；所述杠桿(2)一端設有樞軸(22)，所述聯動桿(5)一端設有一樞孔(54)，其能轉動容納該樞軸(22)。

7.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，還包括設于所述基座(1)上與信號線感應端(6)及磁頭(4)對應的清潔單元(9)，以用于對信號線感應端(6)及磁頭(4)進行清潔。

8.如權利要求7所述的位置檢知裝置，其特征在于，所述清潔單元(9)為CDA吹掃氣管。

9.如權利要求1所述的位置檢知裝置，其特征在于，用于濕法蝕刻設備。