[發明專利]一種氧化鋁拋光液的制備方法有效
| 申請號： | 201610445394.0 | 申請日： | 2016-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN106010297B | 公開（公告）日： | 2018-07-31 |
| 發明（設計）人： | 汪為磊;劉衛麗;宋志棠 | 申請（專利權）人： | 上海新安納電子科技有限公司;中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;許亦琳 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氧化鋁 拋光 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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