[發明專利]毛細管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統

有效

• 申請號: 201610444231.0
• 申請日: 2016-06-20
• 公開（公告）號: CN105867075B
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 祝東遠;趙永蓬;徐強;王騏
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所23109
• 代理人: 岳泉清

1.毛細管放電Z箍縮極紫外光光刻光源的收集系統，采用Wolter Ⅰ型收集系統實現，包括N層圓桶狀反射鏡，反射鏡依次共軸嵌套，每層反射鏡由回轉橢球面(1)和回轉雙曲面(2)連接而成，回轉橢球面(1)和回轉雙曲面(2)具有一個公共的幾何焦點，各層反射鏡的幾何焦點重合；

N層反射鏡由內向外依次為第1層、第2層、…、第N層，N為8、9或10，

以圓桶狀反射鏡的中心軸作為x軸，以由反射鏡向幾何焦點延伸的方向為x軸正向，以幾何焦點為原點，建立直角坐標系，

第i層反射鏡的回轉橢球面(1)的內表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程：

(x+990)2a1i2+y2b1i2=1,]]>

其中i為1、2、3、…、N，單位均為mm，

a₁₁為993.0206，b₁₁為77.3949，a₁₂為993.7421，b₁₂為86.1587，a₁₃為994.6511，b₁₃為96.0772；a₁₄為995.8050，b₁₄為107.3670；a₁₅為997.2837，b₁₅為120.3110；a₁₆為999.2013，b₁₆為135.2896；a₁₇為1001.7273，b₁₇為152.8316；a₁₈為1005.1230，b₁₈為173.7018；

第i層反射鏡的回轉雙曲面(2)的內表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程：

(x+275)2a2i2-y2b2i2=1,]]>

其中i為1、2、3、…、N，

a₂₁為270.2532，b₂₁為50.8742，a₂₂為269.1337，b₂₂為56.4981，a₂₃為267.7308，b₂₃為62.8109，a₂₄為265.9622，b₂₄為69.9222，a₂₅為263.7156，b₂₅為77.9685，a₂₆為260.8346，b₂₆為87.1225，a₂₇為257.0946，b₂₇為97.6082，a₂₈為252.1628，b₂₈為109.7220；

其特征在于，第i層反射鏡的回轉橢球面(1)的外表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程：

(x+990)2a3i2+y2b3i2=1,]]>

其中i為1、2、3、…、N，

a₃₁為993.0206，b₃₁為80.4215，a₃₂為993.7421，b₃₂為89.1851，a₃₃為994.6511，b₃₃為99.1036；a₃₄為995.8050，b₃₄為110.3934；a₃₅為997.2837，b₃₅為123.3373；a₃₆為999.2013，b₃₆為138.3158；a₃₇為1001.7273，b₃₇為155.8576；a₃₈為1005.1230，b₃₈為176.8684；

第i層反射鏡的回轉雙曲面(2)的外表面上由中心軸所在平面截取的曲線滿足方程：

(x+275)2a4i2-y2b4i2=1,]]>

其中i為1、2、3、…、N，

a₄₁為270.2532，b₄₁為52.8636，a₄₂為269.1337，b₄₂為58.4827，a₄₃為267.7308，b₄₃為64.7894，a₄₄為265.9622，b₄₄為71.8932，a₄₅為263.7156，b₄₅為79.9297，a₄₆為260.8346，b₄₆為89.0713，a₄₇為257.0946，b₄₇為99.5408，a₄₈為252.1628，b₄₈為111.6333。