[發明專利]一種可直接溯源的高精度齒輪誤差測量方法有效
| 申請號： | 201610443810.3 | 申請日： | 2016-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN107525465B | 公開（公告）日： | 2021-04-02 |
| 發明（設計）人： | 薛梓;林虎;黃垚;楊國梁;王鶴巖 | 申請（專利權）人： | 中國計量科學研究院 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直接 溯源 高精度 齒輪 誤差 測量方法 | ||
1.一種可直接溯源的高精度齒輪誤差測量方法，其特征在于：將激光干涉測長光路布置在齒輪被測點附近直接測量齒輪誤差，阿貝臂長基本為零，大大降低了原理性的阿貝誤差；
激光干涉測長光路，分為X、Z雙光路，分別沿著齒輪的切向和軸向，X測長光路用于齒輪齒廓偏差和齒距偏差的測量，Z測長光路用于齒輪螺旋線偏差的測量；
采用激光干涉測長作為測量標準，原有的光柵尺僅僅作為坐標軸運動的反饋控制單元；
對齒廓偏差的測量過程按如下步驟實現：
1)搭建激光干涉測長雙光路，將測頭(6)的測球移動到齒輪(12)基圓切線上，將X光路反射鏡(5)固定在測頭(6)的測桿座上，使得激光測長光路靠近齒輪被測點，調整X光路準直；
2)在測量起始位置，將X光路測長值清零，控制X軸滑板(10)和齒輪(12)聯動；
3)當測量開始后，以齒輪回轉角度為觸發信號對激光測長值進行等角度采樣；
4)將步驟3)采集的齒輪回轉角采樣值及激光測長值導入專用測量軟件進行誤差評定，得到齒輪齒廓偏差值；
對螺旋線偏差的測量過程按如下步驟實現：
1)搭建激光干涉測長雙光路，將測頭(6)的測球移動到齒輪(12)分度圓上，將Z光路反射鏡(7)固定在測頭(6)的測桿座上，使得激光測長光路靠近齒輪被測點，調整Z光路準直；
2)在測量起始位置，將Z光路測長值清零，控制Z軸滑板(13)和齒輪(12)聯動；
3)當測量開始后，以齒輪回轉角度為觸發信號對激光測長值進行等角度采樣；
4)將步驟3)采集的齒輪回轉角采樣值及激光測長值導入專用測量軟件進行誤差評定，得到齒輪螺旋線偏差值。
2.根據權利要求1所述的齒輪誤差測量方法，其特征在于采用激光干涉測長作為測量標準，替代光柵尺測長，激光波長可以直接溯源到長度基準“米”，而原有的光柵尺僅僅作為坐標軸運動的反饋控制單元，不再作為測長單元。
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