[發明專利]一種外差式四自由度光柵運動測量系統在審
| 申請號： | 201610442465.1 | 申請日： | 2016-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN106091940A | 公開（公告）日： | 2016-11-09 |
| 發明（設計）人： | 林杰;關健;李丹陽;金鵬;譚久彬 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 外差 自由度 光柵 運動 測量 系統 | ||
【權利要求書】：
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