[發明專利]利用飛秒激光光絲在硅晶體表面遠程制備微結構的裝置及方法在審
| 申請號： | 201610430067.8 | 申請日： | 2016-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN105834589A | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 孫洪波;徐淮良;詹學鵬 | 申請（專利權）人： | 吉林大學 |
| 主分類號： | B23K26/352 | 分類號： | B23K26/352;B23K26/0622;B23K26/082 |
| 代理公司： | 長春吉大專利代理有限責任公司 22201 | 代理人： | 劉世純 |
| 地址： | 130012 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 激光 晶體 表面 遠程 制備 微結構 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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