[發(fā)明專(zhuān)利]一種納米壓印設(shè)備用光刻膠在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610429964.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-06-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106125502A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王晶 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 無(wú)錫英普林納米科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G03F7/00 | 分類(lèi)號(hào)： | G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 蘇州市指南針專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 許希富 |
| 地址： | 215000 江蘇省無(wú)錫*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 納米 壓印 備用 光刻 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
