[發(fā)明專(zhuān)利]一種納米壓印設(shè)備用光刻膠在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610429964.7 | 申請(qǐng)日: | 2016-06-17 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106125502A | 公開(kāi)(公告)日: | 2016-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王晶 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 無(wú)錫英普林納米科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G03F7/00 | 分類(lèi)號(hào): | G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司: | 蘇州市指南針專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人: | 許希富 |
| 地址: | 215000 江蘇省無(wú)錫*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 納米 壓印 備用 光刻 | ||
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





