[發明專利]一種多工位擴散爐控制裝置

在審

• 申請號: 201610428421.3
• 申請日: 2016-06-16
• 公開（公告）號: CN107514917A
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 許斌
• 申請（專利權）人: 許斌
• 主分類號: F27D19/00
• 分類號: F27D19/00;F27D21/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 徐鵬飛

技術領域

本發明涉及擴散爐領域，尤其涉及一種多工位擴散爐控制裝置。

背景技術

擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。目前，擴散爐普遍需要操作人員根據工藝要求手動調節儀表的參數來實現對爐體溫度的控制,因而其溫度控制精度、生產工藝控制能力等較低,從而導致了產品質量差、生產效率低的缺陷。

發明內容

本發明的目的在于通過一種多工位擴散爐控制裝置，來解決以上背景技術部分提到的問題。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一種多工位擴散爐控制裝置，其包括顯示屏、可編程邏輯控制器、模數轉換器、若干溫度采集模塊以及若干壓力采集模塊；所述顯示屏連接可編程邏輯控制器；所述模數轉換器連接可編程邏輯控制器；所述若干溫度采集模塊測量其所在工位的爐口、爐中、爐尾的溫度，輸出給模數轉換器；所述若干壓力采集模塊采集所在罐體的爐膛壓力，輸出給模數轉換器。

特別地，所述顯示屏選用觸摸液晶屏。

特別地，所述溫度采集模塊采用鉑熱電偶。

本發明提出的多工位擴散爐控制裝置以可編程邏輯控制器為核心,實現了對擴散爐溫度和工藝過程的檢測與控制，操作簡單，可靠性好,提高了溫度控制精度及工藝過程自動化水平。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的多工位擴散爐控制裝置結構圖。

具體實施方式

為了便于理解本發明，下面將參照相關附圖對本發明進行更全面的描述。附圖中給出了本發明的較佳實施例。但是，本發明可以以許多不同的形式來實現，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對本發明的公開內容理解的更加透徹全面。需要說明的是，當一個元件被認為是“連接”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或者可能同時存在居中元件。除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本發明的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本發明的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本發明。本文所使用的術語“及/或”包括一個或多個相關的所列項目的任意的和所有的組合。

請參照圖1所示，圖1為本發明實施例提供的多工位擴散爐控制裝置結構圖。本實施例中多工位擴散爐控制裝置具體包括顯示屏、可編程邏輯控制器、模數轉換器、若干溫度采集模塊以及若干壓力采集模塊；所述顯示屏連接可編程邏輯控制器；所述模數轉換器連接可編程邏輯控制器；所述若干溫度采集模塊測量其所在工位的爐口、爐中、爐尾的溫度，輸出給模數轉換器；所述若干壓力采集模塊采集所在罐體的爐膛壓力，輸出給模數轉換器。

在本實施例中所述顯示屏選用觸摸液晶屏。在本實施例中所述溫度采集模塊采用鉑熱電偶。

本發明的技術方案以可編程邏輯控制器為核心,實現了對擴散爐溫度和工藝過程的檢測與控制，操作簡單，可靠性好,提高了溫度控制精度及工藝過程自動化水平。

注意，上述僅為本發明的較佳實施例及所運用技術原理。本領域技術人員會理解，本發明不限于這里所述的特定實施例，對本領域技術人員來說能夠進行各種明顯的變化、重新調整和替代而不會脫離本發明的保護范圍。因此，雖然通過以上實施例對本發明進行了較為詳細的說明，但是本發明不僅僅限于以上實施例，在不脫離本發明構思的情況下，還可以包括更多其他等效實施例，而本發明的范圍由所附的權利要求范圍決定。