[發明專利]一種擴散爐控制裝置及方法

在審

• 申請號: 201610428296.6
• 申請日: 2016-06-16
• 公開（公告）號: CN107514916A
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 許斌
• 申請（專利權）人: 許斌
• 主分類號: F27D19/00
• 分類號: F27D19/00;F27D21/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 徐鵬飛

1.一種擴散爐控制裝置，其特征在于，包括顯示屏、可編程邏輯控制器、模數轉換器、若干溫度采集模塊以及若干壓力采集模塊；所述顯示屏連接可編程邏輯控制器；所述模數轉換器連接可編程邏輯控制器；所述若干溫度采集模塊測量其所在工位的爐口、爐中、爐尾的溫度，輸出給模數轉換器；所述若干壓力采集模塊采集所在罐體的爐膛壓力，輸出給模數轉換器；其中，所述顯示屏選用觸摸液晶屏。

2.根據權利要求1所述的擴散爐控制裝置，其特征在于，所述溫度采集模塊采用鉑熱電偶。

3.一種應用權利要求1所述擴散爐控制裝置的擴散爐控制方法，其特征在于，包括如下步驟：

S101、抽真空到設定壓力；S102、爐體加熱升溫至設定溫度；S103、停止抽真空，并充氣到第二設定壓力；S104、停止充氣，并升溫至第二溫度；S105、停止升溫，同時充氣至第三壓力；S106、停止充氣，同時等待爐體自然降溫至第三溫度；S107、開風機同時保壓，冷卻至設定溫度；S108、停止風機，放氣。