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[發明專利]半導體裝置及其制造方法在審

專利信息
申請號: 201610428167.7 申請日: 2016-06-16
公開(公告)號: CN106340562A 公開(公告)日: 2017-01-18
發明(設計)人: 宇佐美達矢;小倉卓 申請(專利權)人: 瑞薩電子株式會社
主分類號: H01L31/10 分類號: H01L31/10;H01L31/028;H01L21/205;C23C16/44
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038 代理人: 金光華
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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