[發明專利]一種大口徑光柵衍射效率的測量裝置和測量方法有效
| 申請號： | 201610427140.6 | 申請日： | 2016-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN106124166B | 公開（公告）日： | 2018-07-13 |
| 發明（設計）人： | 邵建達;劉世杰;王圣浩;王微微;張志剛;周游;徐天柱;魯棋 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純;張寧展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 大口徑光柵 衍射效率 測量 二維掃描機構 測量裝置 參考光探測器 垂直方向掃描 光纖測量頭 安全隱患 測量過程 測量數據 測量系統 傳輸光纖 單個位置 參考光 測量光 測試光 單色器 分束鏡 復現性 位置處 衍射光 樣品臺 探測器 構建 光源 參考 保證 | ||
【權利要求書】：
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