[發(fā)明專利]一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu)制作方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610426652.0 | 申請(qǐng)日: | 2016-06-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN105932137B | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-03-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 吳奇隆;張永;陳凱軒;李俊賢;陳亮 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廈門乾照光電股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L33/48 | 分類號(hào): | H01L33/48;H01L33/46 |
| 代理公司: | 廈門市新華專利商標(biāo)代理有限公司35203 | 代理人: | 廖吉保,唐紹烈 |
| 地址: | 361000 福建省廈門市*** | 國(guó)省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 增加 演色性 白光 led 結(jié)構(gòu) 制作方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及LED技術(shù)領(lǐng)域,尤其是指一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu)制作方法。
背景技術(shù)
現(xiàn)有技術(shù)中,提高白光演色性的方式主要有以下幾種:一,使用高演色性的螢光粉,其缺陷在于:高演色性螢光粉的效率較低。二,在封裝體中多放一顆高效率紅光芯片,來(lái)提高紅光的分量,進(jìn)而提高演色性,也能維持發(fā)光效率,其缺陷在于:造成封裝成本與封裝體積皆會(huì)增加。
有鑒于此,為克服現(xiàn)有技術(shù)所述缺陷,本發(fā)明提出一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu),本案由此產(chǎn)生。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu)制作方法,以減少封裝體積和使用的封裝面積,提高白光的演色性,且混光效果較好。
為達(dá)成上述目的,本發(fā)明的解決方案為:
一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu)制作方法,包括以下步驟:
一,在藍(lán)光外延芯片正面進(jìn)行ICP蝕刻至N-GaN表面,在N-GaN表面蒸鍍N電極,在P-GaN上蒸鍍銦錫氧化物(ITO),在銦錫氧化物(ITO)上蒸鍍P電極;
二,在紅光四元外延芯片的GaP層上蒸鍍p型歐姆接觸材料形成P型歐姆接觸層;
三,在藍(lán)光外延芯片正面涂覆有機(jī)黏著膠,然后鍵合在暫時(shí)襯底上,研磨藍(lán)光外延芯片背面的襯底,在研磨后的襯底上蒸鍍氧化物材料形成DBR層,然后在DBR層上涂布有機(jī)黏著膠或無(wú)機(jī)黏著膠形成鍵合層后,再與四元外延芯片進(jìn)行對(duì)位式鍵合,與四元外延芯片的P型歐姆接觸層鍵合;
四,先將四元外延芯片的砷化鎵襯底去除,再蒸鍍形成N型歐姆接觸層,在N型歐姆接觸層上蒸鍍反射鏡,在反射鏡上沉積隔絕層,對(duì)隔絕層進(jìn)行穿孔分別至P型歐姆接觸層和N型歐姆接觸層,在穿孔中分別生長(zhǎng)P型電極與P型歐姆接觸層連接及N型電極與N型歐姆接觸層連接;
五,將暫時(shí)襯底去除,裂片即得。
進(jìn)一步,在形成P型歐姆接觸層后,對(duì)GaP層進(jìn)行表面粗化或表面圖形化處理,增加取光率。
進(jìn)一步,P型歐姆接觸層為金鈹合金、金鋅合金或者銦錫氧化物(ITO)。
一種增加演色性的白光LED結(jié)構(gòu),包括藍(lán)光外延芯片、紅光四元外延芯片及鍵合層;藍(lán)光外延芯片與紅光四元外延芯片之間借助鍵合層鍵合;藍(lán)光外延芯片的襯底研磨后蒸鍍DBR層,紅光四元外延芯片的四元外延層一側(cè)生長(zhǎng)GaP外延層,GaP外延層上生長(zhǎng)P型歐姆接觸層,四元外延層另一側(cè)生長(zhǎng)N型歐姆接觸層,N型歐姆接觸層上生長(zhǎng)反射鏡,反射鏡上生長(zhǎng)隔絕層,隔絕層上分別設(shè)置與N型歐姆接觸層連接的N型電極和與P型歐姆接觸層連接的P型電極;鍵合層一側(cè)與DBR層鍵合,鍵合層另一側(cè)與四元外延層的P型歐姆接觸層鍵合。
進(jìn)一步,P型歐姆接觸層為金鈹合金、金鋅合金或者銦錫氧化物(ITO)。
進(jìn)一步,藍(lán)光外延芯片的襯底上生長(zhǎng)藍(lán)光外延結(jié)構(gòu),藍(lán)光外延結(jié)構(gòu)的N型氮化鎵上生長(zhǎng)N型電極,藍(lán)光外延結(jié)構(gòu)的P型氮化鎵上生長(zhǎng)ITO,ITO上生長(zhǎng)P型電極。
進(jìn)一步,鍵合層為有機(jī)黏著膠或者無(wú)機(jī)黏著膠。
采用上述方案后,本發(fā)明在芯片前制程端的狀態(tài)下先將藍(lán)光與紅光芯片用芯片工藝結(jié)合在一起成為單一芯片,減少芯片在封裝端所使用的面積,從而減少封裝體積和使用的封裝面積,提高白光的演色性。
同時(shí),本發(fā)明利用設(shè)計(jì)無(wú)金屬布拉格反射鏡(DBR)將特定的藍(lán)光波段全部反射而其他波段透射,且藍(lán)光與紅光在同一位置發(fā)光,使得混光效果較好。
附圖說(shuō)明
圖1a至圖1d是本發(fā)明正裝藍(lán)光芯片的工藝流程圖;
圖2a至圖2c是本發(fā)明紅光芯片的工藝流程圖;
圖3a至圖3c是本發(fā)明藍(lán)光芯片襯底研磨工藝流程圖;
圖4是本發(fā)明紅光芯片與藍(lán)光芯片的鍵合示意圖;
圖5是本發(fā)明完成四元倒裝芯片示意圖;
圖6是本發(fā)明裂片后的結(jié)構(gòu)示意圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明
藍(lán)光外延芯片1 襯底11
DBR層12 N型氮化鎵13
ITO14 有機(jī)黏著膠15
暫時(shí)襯底16四元外延芯片2
四元外延層21GaP外延層22
P型歐姆接觸層23 N型歐姆接觸層24
反射鏡25隔絕層26
砷化鎵襯底27鍵合層3。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)描述。
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