[發明專利]多晶硅還原尾氣余熱利用方法及系統

有效

• 申請號: 201610417784.7
• 申請日: 2016-06-15
• 公開（公告）號: CN107512719B
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 桑友雷;劉丹丹;孫運德;劉彬;孫希德
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035;F27D17/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種多晶硅還原尾氣余熱利用方法，其特征在于，包括如下步驟：

在第一套管中利用來自第二套管的循環水的冷量對還原爐輸出的還原尾氣進行冷卻處理，并使第一套管冷卻后的還原尾氣進入尾氣換熱器，以及使冷量已被第一套管利用的循環水進入還原爐；

在尾氣換熱器中利用來自李比希冷凝管的進料氣的冷量對來自第一套管的還原尾氣再次進行冷卻處理，并使尾氣換熱器冷卻后的還原尾氣進入第二套管，以及使冷量已被尾氣換熱器利用后的進料氣進入還原爐；

在第二套管中利用來自李比希冷凝管的循環水的冷量對來自尾氣換熱器的還原尾氣再次進行冷卻處理，并使第二套管冷卻后的還原尾氣進入李比希冷凝管，以及使冷量已被第二套管利用后的循環水進入第一套管；

在李比希冷凝管中利用來自靜態混合器的進料氣和來自循環水系統的循環水的冷量對來自第二套管的還原尾氣再次進行冷卻處理，并使冷量已被李比希冷凝管利用的進料氣進入尾氣換熱器，以及使冷量已被李比希冷凝管利用的循環水進入第二套管。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括如下步驟：

使來自所述第一套管的循環水依次對還原爐的底盤和爐筒進行降溫后，進入循環水系統。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括如下步驟：

實時監測進入還原爐前的進料氣的溫度。

4.一種多晶硅還原尾氣余熱利用系統，其特征在于，包括第一套管、尾氣換熱器、第二套管和李比希冷凝管，

第一套管用于利用來自第二套管的循環水的冷量對還原爐輸出的還原尾氣進行冷卻處理，并將其冷卻后的還原尾氣輸出至尾氣換熱器，以及將冷量已被其利用的循環水輸出至還原爐；

尾氣換熱器用于利用來自李比希冷凝管的進料氣的冷量對來自第一套管的還原尾氣再次進行冷卻處理，并將其冷卻后的還原尾氣輸出至第二套管，以及將冷量已被其利用后的進料氣輸出至還原爐；

第二套管用于利用來自李比希冷凝管的循環水的冷量對來自尾氣換熱器的還原尾氣再次進行冷卻處理，并將其冷卻后的還原尾氣輸出至李比希冷凝管，以及將冷量已被其利用后的循環水輸出至第一套管；

李比希冷凝管用于利用來自靜態混合器的進料氣和來自循環水系統的循環水的冷量對來自第二套管的還原尾氣再次進行冷卻處理，并將冷量已被其利用的進料氣輸出至尾氣換熱器，以及將冷量已被其利用的循環水輸出至第二套管。

5.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，還包括爐內降溫通道，其用于使冷量已被第一套管利用的循環水依次對還原爐的底盤和爐筒進行降溫后，進入循環水系統。

6.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，還包括溫度測量儀，所述溫度測量儀用于實時監測進入還原爐前的進料氣的溫度。