[發明專利]一種金屬掩膜板的制備方法及金屬掩膜板有效
| 申請號： | 201610413078.5 | 申請日： | 2016-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN106048521B | 公開（公告）日： | 2018-09-18 |
| 發明（設計）人： | 呂守華;黃俊杰 | 申請（專利權）人： | 鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 017000 內蒙古*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 掩膜板 制備 方法 | ||
【說明書】：
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