[發明專利]一種具有ITO結構的LED芯片及其切割方法有效
| 申請號： | 201610412856.9 | 申請日： | 2016-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN105870276B | 公開（公告）日： | 2018-05-29 |
| 發明（設計）人： | 張銀橋;潘彬 | 申請（專利權）人： | 南昌凱迅光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/06 | 分類號： | H01L33/06;H01L33/30;H01L33/38;H01L33/00 |
| 代理公司： | 江西省專利事務所 36100 | 代理人： | 張靜;張文 |
| 地址： | 330038 江西省南昌市紅谷灘新*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 切割 走道 制作 鉆石刀片 窗口層 圖形化 刀片 發光二極管外延 高速旋轉狀態 金屬電極層 刀片切割 干法蝕刻 介質膜層 鉆石切割 外延片 崩邊 良率 濕法 碎屑 芯粒 附著 薄膜 | ||
【權利要求書】：
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