[發明專利]一種連續測量薄膜變形的裝置及方法有效
| 申請號: | 201610412839.5 | 申請日: | 2016-06-13 |
| 公開(公告)號: | CN106124291B | 公開(公告)日: | 2019-01-08 |
| 發明(設計)人: | 李曉娜;劉成星;王曉君 | 申請(專利權)人: | 太原理工大學;太原師范學院 |
| 主分類號: | G01N3/00 | 分類號: | G01N3/00;G01N3/06;G01B21/32 |
| 代理公司: | 淄博川誠知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 37275 | 代理人: | 李鵬 |
| 地址: | 030024 山西省*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 連續 測量 薄膜 變形 裝置 方法 | ||
【說明書】:
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