[發明專利]一種大功率微波等離子體發生裝置在審
| 申請號： | 201610410659.3 | 申請日： | 2016-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN105979693A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發明（設計）人： | 金偉;朱旦;金欽漢 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | H05H1/28 | 分類號： | H05H1/28 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高;趙杭麗 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 大功率 微波 等離子體 發生 裝置 | ||
【權利要求書】：
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