[發明專利]用激光干涉儀檢測高精度觸發式測頭重復精度的裝置及檢測方法在審
| 申請號： | 201610408905.1 | 申請日： | 2016-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN105841650A | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 李俊;郝天陽;王慶朋;張繼德;商懷昊;孫振 | 申請（專利權）人： | 科德數控股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B21/00 | 分類號： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 孟兆華;李洪福 |
| 地址： | 116600 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 干涉儀 檢測 高精度 觸發 式測頭 重復 精度 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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