[發明專利]一種垂直基底生長硒化鎢納米片薄膜材料的可控快速制備方法有效
| 申請號： | 201610407882.2 | 申請日： | 2016-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN105821391B | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 李紅超;鄒儉鵬;高迪 | 申請（專利權）人： | 崇義章源鎢業股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 長沙市融智專利事務所 43114 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 341000*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基底 納米片 薄膜材料 快速制備 垂直 生長 鎢薄膜 硒化鎢 可控 直流磁控濺射 電解制氫 快速硒化 低成本 電催化 再利用 石英 制備 薄膜 應用 | ||
【權利要求書】：
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