[發明專利]一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件

有效

• 申請號: 201610407634.8
• 申請日: 2016-06-12
• 公開（公告）號: CN106076219B
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 王朝暉;衛首鵬;白橙;沈亮;蘆海偉;蔣莊德
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司61200
• 代理人: 安彥彥

1.一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，包括圓形基底(1)、大叉指換能器(2)、下隔膜(3)、小叉指換能器組(4)、上隔膜(5)以及溫控結構(6)，其中大叉指換能器(2)濺射在圓形基底(1)上；下隔膜(3)濺射于圓形基底(1)上并將大叉指換能器(2)覆蓋；小叉指換能器組(4)濺射在隔膜(3)上；上隔膜(5)濺射在隔膜(3)上并將小叉指換能器組(4)覆蓋；溫控結構(6)濺射在上隔膜(5)上；

所述大叉指換能器(2)由一對漸開線叉指和圓形反射柵(10)組成，漸開線的基圓(9)直徑為2毫米，基圓(9)的圓心與圓形基底(1)的圓心重合，漸開線展開角度為1080度，漸開線的外圍布有圓形反射柵(10)。

2.根據權利要求1所述的一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，所述圓形基底(1)材質為壓電材料鈮酸鋰晶體。

3.根據權利要求1所述的一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，所述下隔膜(3)、下隔膜(5)均為二氧化硅薄膜。

4.根據權利要求1所述的一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，所述圓形基底(1)高度為500μm，大叉指換能器(2)、小叉指換能器組(4)以及溫控結構(6)的高度為50nm；上隔膜(5)和下隔膜(3)的高度為70nm。

5.根據權利要求1所述的一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，所述小叉指換能器組(4)由若干結構相同的漸開線叉指換能器組成，漸開線叉指的展開角度為1080度，漸開線的基圓的圓心均勻分布在基圓(9)上，數個漸開線叉指對均勻設置，漸開線的基圓半徑按需求設定。

6.根據權利要求1所述的一種適用于混合、顆粒富集與分離的微化學反應器件，其特征在于，所述溫控結構(6)由帕爾貼(7)和測溫電阻(8)組成，帕爾貼(7)、測溫電阻(8)以及基圓(9)為同心圓。